【摘 要】
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Aixtron AG公司接到中国南京电子器件研究所的一份订购Thomas插口式致密耦合喷头生长炉(Swan Close Coupled Showerhead reactor)的订单,这台 6×2″结构的生长炉将用来生长
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Aixtron AG公司接到中国南京电子器件研究所的一份订购Thomas插口式致密耦合喷头生长炉(Swan Close Coupled Showerhead reactor)的订单,这台 6×2″结构的生长炉将用来生长氮化物,主要是生长GaN HEMT结构。
Aixtron AG received an order for the Swan Close Coupled Showerhead reactor from Nanjing Institute of Electronic Devices, China, which will be used to grow nitrides, The main is the growth of GaN HEMT structure.
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