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本文论述双波长数字波面干涉术的原理及算法,分析该技术的主要误差及其校正方法。整个软件在IBM—PC上运行通过,完成了自动检测过程并给出表面形貌及主要参数。
双波长数字波面干涉术及其误差的消除
【摘 要】
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本文论述双波长数字波面干涉术的原理及算法,分析该技术的主要误差及其校正方法。整个软件在IBM—PC上运行通过,完成了自动检测过程并给出表面形貌及主要参数。
【机 构】
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浙江大学光仪系,浙江大学光仪系
【出 处】
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浙江大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1989年4期
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