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氮做了像钻石的碳(DLC : N ) 电影被电子回旋加速器回声化学药品蒸汽免职(ECR-CVD ) 在多晶的 Si 薄片上准备。电影厚度是大约 50 nm.Auger 电子光谱学(AES ) 被用来评估氮内容,并且增加改进 N 从 0 ~ 7.6%.Raman 和结果揭示的 X 光检查光电子光谱学(XPS ) 分析满足的 N2flow N-sp3C 和 N-sp2C 结构。与增加 N2 流动, sp3C 从 73.74%down 减少到 42.66% ,那么从 68.04% 做 N-sp3C 在下面到到