金属/La2O3/Si结构电流机制研究

来源 :真空电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:reefstone
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
La2O3是一种高k栅介质材料。本文采磁控溅射方法制备了硅基La2O3薄膜,用热蒸发法在薄膜表面分别制备了Al和Pt电极,采用电流-电压法研究了上述金属/La2O3/Si结构的漏电流机制。研究发现,在常温下,金属/La2O3/Si结构的主要漏电流机制是由FP发射所支配。在液氮温度下,对于Al/La2O3/Si结构,不管是正向偏压还是反向偏压,在高场下,曲线很好地满足FN隧穿的线性关系。从这些电流特性,得到了金属/La2O3与La2O3/Si的能带偏移。
其他文献
李一矿所属淮南矿业(集团)有限责任公司,始建于20世纪50年代初,经过多年扩建改造后生产能力为0.9Mt/a。2001年淮南矿业集团根据矿区煤炭产业发展需要,将原李一矿、李二矿及原谢
铁矿物料水分在线精确检测是钢铁工业一直面临的技术难题,由此造成生产过程水分不能自动控制,影响了作业率和能效水平。基于微波与铁矿物料,特别是与水的强耦合作用能力,采用
【摘 要】解读文章,可以分为三个层次:一是理解,二是感悟,三是评价。就整个阅读教学而言,三个层次同样重要,决不应厚此薄彼;就一篇文章的教学而言,三个层次可根据具体情况有所侧重,但不能将其混为一谈;在个体阅读过程中,三个层次的存在可能是交互共生的,但在阅读教学的过程中,三个层次的教学应该分开进行。  【关键词】解读文章 阅读能力 理解 感悟 评价    伴随着“创新教育”的时髦化,“创新阅读”也成为
让学生为了“说”而“写”,转移了注意力,激发了学生的兴趣,不再过多地“写”。学生的精心准备,扩充了材料储备,积累了写作常识。老师给与学生必要的点拔,学生之间相互合作,学生在不
3月19日出版的《科学》杂志发表文章说,中国投入大量资金解决环境问题。
[摘要]在语文课堂教学中安排好内容、程序、节奏,运用好张弛交错、快慢结合、言谈蕴情的曲折艺术,不仅能激发学生兴趣,启迪学生心智,大大提高教学质量,更能带给人一种赏心悦目的艺术享受。  [关键词]语文教学 教学内容 教学方法教学设计    语文教学中,要重视曲折艺术的作用,应用好曲折艺术,能使课堂悬念叠生,收到事半功倍的效果。曲折艺术的作用主要体现在以下四个方面:    一、张弛交错起波澜    “
本文首先介绍路面裂缝的形成原因及处理方法,继而着重说明面层贴缝带的结构和用于处理裂缝的特性。
嵩县位于河南省西南部,总面积3008平方公里,辖16个乡镇,318个行政村,全县总人口55万,先后被授予国家生态示范县、中国旅游强县、全国科技进步先进县、全国科普示范县、全国黄金生
AIM:To investigate whether Z:ZCLA Mongolian gerbils are readily susceptible to infection by human hepatitis E virus(HEV).METHODS:Z:ZCLA Mongolian gerbils were i
本文主要介绍了Ku频段120w脉冲波行波管的研制情况。研制出的Ku频段120w空间行波管在指定的两个频带内输出功率大于125W,敬率大于61%,个别频率点效率达到63%,非线性相移低于50&#17