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我们对采用腔内倾斜标准具法压缩激光线宽进行了研究，较详细地讨论了影响线宽压缩效果的各种因素。并在一台长脉冲放电泵浦ＫｒＦ准分子激光器上，采用三个标准具作为线宽压缩元件，获得了线宽小于３ＧＨｚ，发散角近似衍射极限的高质ＫｒＦ激光输出。实验中研究了不同光阑孔径及输出耦合率对输出线宽和输出能量的影响。