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<正> 在文[1—6]的基础上,研制了小圆面非平衡磁控源,取得了同轴圆柱磁控原理用于平面磁控源并达到实用的小型化。1 源的结构更多还原
小圆面非平衡磁控原子源研究
【摘 要】
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<正> 在文[1—6]的基础上,研制了小圆面非平衡磁控源,取得了同轴圆柱磁控原理用于平面磁控源并达到实用的小型化。1 源的结构更多还原
【机 构】
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四川大学原子核科学技术研究所
【出 处】
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四川大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1992年4期
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