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一种新的表面形貌检测方法
一种新的表面形貌检测方法
来源 :润滑与密封 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chufs
【摘 要】
:
共焦激光扫描显微镜是近年来发展起来的一种新型显微镜.本文介绍了日本奥林巴斯公司研制OLS1100型共焦激光扫描显微镜性能特点,并着重介绍了利用其独有的纵向分辨能力和高的
【作 者】
:
石心余
周仲荣
【机 构】
:
西南交通大学摩擦学研究所
【出 处】
:
润滑与密封
【发表日期】
:
2002年3期
【关键词】
:
共焦激光扫描显微镜
微动磨损
显微划痕
表面形貌
Confocal Laser Scanning Microscope Fretting Wear Micro-
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共焦激光扫描显微镜是近年来发展起来的一种新型显微镜.本文介绍了日本奥林巴斯公司研制OLS1100型共焦激光扫描显微镜性能特点,并着重介绍了利用其独有的纵向分辨能力和高的平面分辨率,在对微动磨损、显微划痕以及进行表面形貌观察和参数检测的应用.
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