【摘 要】
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微机电系统（Micro electromechanical systems,MEMS）的快速发展与产品微型化的发展趋势对微细结构表面（包括微孔、微槽和微棱柱/锥等）的加工质量提出了更高的要求,为了提高微细结
【机 构】
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浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室,温州大学机电工程学院
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微机电系统（Micro electromechanical systems,MEMS）的快速发展与产品微型化的发展趋势对微细结构表面（包括微孔、微槽和微棱柱/锥等）的加工质量提出了更高的要求,为了提高微细结构表面的加工质量,提出一种磨粒辅助放电加工（Electrodischarge machining,EDM）与电化学加工（Electro chemical machining,ECM）复合加工新方法,通过建立微加工模型分析了该方法的加工机理,搭建了微加工试验平台,并进行了工艺参数优化研究,采用直径500μ
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