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提出了一种新的计算机控制高精度、宽范围的调速系统,采用直接数字控制实现了快速实时调速。系统采用软件和硬件结合的控制方案,给出了系统原理框图和控制流程图,解决了快速响应与控制精度之间的矛盾。经测试,对于一个宽度范围为200~8000 r/min的调速系统而言,调速精度能够控制在±10 r/min以内,满足了晶片处理系统的工艺要求。