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期刊论文
双SOI结构高性能压力传感器
双SOI结构高性能压力传感器
来源 :物探装备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shushuclover1
【摘 要】
:
利用双SOI结构可以制成高性能的压力传感器。本文详细介绍了这种新型压力传感器的结构、特点和制作过程,并对其特性进行了讨论。
【作 者】
:
柴书常
【机 构】
:
石油地球物理勘探局特种装备勘探处
【出 处】
:
物探装备
【发表日期】
:
2000年1X期
【关键词】
:
压力传感器
双SOI结构
灵敏度
漂移
pressure sensors double silicon-on-insulator structures sens
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利用双SOI结构可以制成高性能的压力传感器。本文详细介绍了这种新型压力传感器的结构、特点和制作过程,并对其特性进行了讨论。
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