砷化镓真空热分解的理论计算与实验

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利用密度泛函理论计算砷化镓(GaAs)的能带结构、态密度、密立根布居和差分电荷密度等参数,对其热分解过程进行分子动力学模拟。计算模拟结果表明:在动力学模拟条件下,部分Ga-As键发生断裂,生成Ga和As2,Ga-As键随模拟时间的延长分步断裂。同时,以GaAs废料为原料,对其进行真空热分解实验研究,主要考察蒸馏温度和恒温时间对Ga和As分离效果的影响。实验结果表明:当系统压力为3~8 Pa、温度为1273 K和恒温时间为3 h时,残留物镓的品质较好,纯度高于99.99%,砷主要以单质形态存在,危害小。计算
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