【摘 要】
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<正> 1 引言下一代集成电路的设计要求光刻尺寸相对的小,软X射线投影光刻(SXPL)对未来的超大规模集成电路(ULSI)是最有前途的技术之一,因为它必须具有高分辨率。但是,与近贴
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<正> 1 引言下一代集成电路的设计要求光刻尺寸相对的小,软X射线投影光刻(SXPL)对未来的超大规模集成电路(ULSI)是最有前途的技术之一,因为它必须具有高分辨率。但是,与近贴式X射线光刻(XRL)相比,软X射线投影光刻有严重的抗蚀膜吸收大量的曝光能量问题。由于曝光波长短,焦深(DOF)短,然而,关于软X射线投影光刻中焦深的试验评价在1993年前未见报道。
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