细电子束像差与畸变参量非劣解中的最优解

来源 :强激光与粒子束 | 被引量 : 0次 | 上传用户:drhxumingzhu
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
以电子束偏转磁场的像差和畸变为目标,对参量进行非劣解中找出贴近理想的最优解.以SDS-3电子束曝光机的磁复合偏转系统为基础,分析了像差与电子束主轨迹的关系.并给出了磁聚焦和静电的偏转场相复合情况下竖轴的3级几何像差系数和1级色差系数公式.应用中表明,复合系统结构简单紧凑,像差小而可以不用动态校正.
其他文献
通过理论分析与计算,设计加工了一个C波段磁绝缘线振荡器(MILO),并进行了实验研究.在二极管电压为437~464 kV、二极管电流为36~39 kA的条件下,从实验上获得了功率为1.60~1.68 GW
本文总结了不同种类蒙药材"特木日-地格达"的使用现状,首次对新疆产"特木日-地格达"药材新疆假龙胆做了详细的介绍。对不同种类蒙药材"特木日-地格达"中所含的药物有效成分龙胆苦苷
目的:采用传统的维吾尔医内外法并用治疗膝骨关节炎疗效观察。方法:用维吾尔医成熟剂和清除剂及外敷治疗方法。结果:内外法并用治疗121列膝骨关节炎,显效72例(59.5%),有效45例(37.1%),无效4
目的:绿绒蒿中槲皮素的含量研究.方法:采用高效液相色谱法测定绿绒蒿中槲皮素的含量.结果:定量方法简便、准确,专属性强;绿绒蒿在0.20~1.21μg范围内呈良好的线性关系,r=0.9999,平
对轴对称收敛型电子枪设计方法进行了整理分析,就阴极半锥角的初始值对迭代综合法的收敛性能所产生的影响进行了讨论,针对低压缩比条件下原来的Vaughan公式失效的问题进行了
分析讨论了双极性流对平面二极管发射电流的影响,并利用PIC程序对平面二极管中的双极性流问题进行了数值对比。在此基础上模拟研究了具有径向发射特点的低阻抗高功率微波器件M
通过数值模拟与理论计算,对TM01-TE11弯形圆波导模式转换器进行了分析,得出了TE11模式的功率转换效率的解析公式.在保持其出射端口与入射端口轴线平行的情况下,通过减小波导
介绍了重频纳秒高压脉冲下变压器油绝缘特性研究的现状和成果.进行了重频(1 Hz~1kHz)纳秒高压脉冲下25#变压器油击穿特性的实验研究.实验发现相对于单次纳秒脉冲,重频脉冲下25
叙述了四极质谱(QMS)的结构和气体分析质谱(GAM)的定量分析工作原理.四极质谱具有快速扫描响应,较高的响应灵敏度的特点,在经过标准气体校准后,加上独特的气体进样系统,可用
对双源线性共蒸法制备的非均匀薄膜折射率分布与光学特性的关系作了探讨,并与均匀介质膜的光学特性作了对比;从折射率正变和负变两个方面,讨论了混合介质膜折射率不同变化规