【摘 要】
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在显微物镜的成象光路中,增加一块振荡反射镜,使被测线宽的放大象相对窄缝扫描,将光学边界信息转变为梯形电脉冲。经过电路处理。得到两个尖形电脉冲。填充高频矩形脉冲测量
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在显微物镜的成象光路中,增加一块振荡反射镜,使被测线宽的放大象相对窄缝扫描,将光学边界信息转变为梯形电脉冲。经过电路处理。得到两个尖形电脉冲。填充高频矩形脉冲测量两尖形脉冲之间的时间间隔,进而求得被测线宽的宽度。推导了被测线宽与光学性能参数,结构参数,振荡频率以及高频矩形脉冲数之间的函数关系式。根据显微镜的基本性能,分析了影响测量误差的各种因素,并进行实例计算。最后提出一个框图,说明线宽测量仪系统中各功能之间的关系。
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