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4000TPI光刻伺服盘的工艺实践
4000TPI光刻伺服盘的工艺实践
来源 :微电子学与计算机 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fkjunjin
【摘 要】
:
利用光刻技术成功地制作了4000TPI(Tracks Per Inch)伺服盘.通过扫描电镜、振动样品测试仪及干涉仪检测结果证明,所研制了光刻伺服盘达到了设计要求.
【作 者】
:
赫连娜
张江陵
王智刚
罗敢
【机 构】
:
华中理工大学计算机系,华中理工大学计算机系武汉430074,武汉430074,武汉430074
【出 处】
:
微电子学与计算机
【发表日期】
:
1993年1期
【关键词】
:
光刻技术
伺服盘
磁盘
光刻伺服盘
Manufacture
Servo disk
Photolithographic process
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利用光刻技术成功地制作了4000TPI(Tracks Per Inch)伺服盘.通过扫描电镜、振动样品测试仪及干涉仪检测结果证明,所研制了光刻伺服盘达到了设计要求.
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