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提出了近年实验发现的在等离子体化学气相沉积（ＰＶＣＤ）金刚石薄膜中衬底负偏压增强成核效应的理论模型，给出偏压增强成核效应与沉积参数诸如反应压强和碳源性度等的关系，解释了在负偏压增大时，反应压强和碳源浓度的变化对成核增强强度的影响，并且讨论了阈值负压问题，本模型得到的理论与文献中的实验结果基本一致。