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利用直流或射频磁控溅射法溅射沉积非晶ＮｉＴｉ合金薄膜，研究了５５０℃晶化热处理０．５ｈ的５１．６％ＮｉＴｉ形状记忆薄膜的力学性能。弯曲和拉伸实验结果表明：自由状态的ＮｉＴｉ薄膜具有良好的形状记忆效应。形状记忆的恢复率几乎接近１００％。与相同组分和相同热处理条件下的块体合金材料的形状记忆性能的实验数据相比较是相当的。