端面加工实时误差补偿及平面度测量系统

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提出了一种超精密车床端面加工实时误差补偿方法,并对工件加工表面进行在线测量,用最小二乘方法计算平面度,结果表明零件平面度改善了62%,说明了所提方法是可行的。
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