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本文讨论了基于数字微镜系统（DMD）的环形光栅的设计和制作方法。利用DMD系统，我们可以制作出低成本、半径可调的环形光栅，为使其集成到微光机电系统提供了一种可能。通过实验，我们获得了最大外半径为42．7μm的环形光栅。
DMD系统的环形光栅的设计和制作
【摘 要】
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本文讨论了基于数字微镜系统（DMD）的环形光栅的设计和制作方法。利用DMD系统，我们可以制作出低成本、半径可调的环形光栅，为使其集成到微光机电系统提供了一种可能。通过实验，我们
【机 构】
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浙江工业大学信息工程学院,华中科技大学光电国家实验室
【出 处】
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九江学院学报
【发表日期】
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2007年3期
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