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期刊论文
DMD系统的环形光栅的设计和制作
DMD系统的环形光栅的设计和制作
来源 :九江学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaobailove2009
【摘 要】
:
本文讨论了基于数字微镜系统(DMD)的环形光栅的设计和制作方法。利用DMD系统,我们可以制作出低成本、半径可调的环形光栅,为使其集成到微光机电系统提供了一种可能。通过实验,我们
【作 者】
:
孙智华
洪月辉
吴华明
【机 构】
:
浙江工业大学信息工程学院,华中科技大学光电国家实验室
【出 处】
:
九江学院学报
【发表日期】
:
2007年3期
【关键词】
:
数字微镜系统(DMD)
环形光栅
二元光学
DMD systemCircular gratingsbinary optics
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本文讨论了基于数字微镜系统(DMD)的环形光栅的设计和制作方法。利用DMD系统,我们可以制作出低成本、半径可调的环形光栅,为使其集成到微光机电系统提供了一种可能。通过实验,我们获得了最大外半径为42.7μm的环形光栅。
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