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期刊论文
高准确度柔性定位控制传感器技术研究
高准确度柔性定位控制传感器技术研究
来源 :计量与测试技术 | 被引量 : 2次 | 上传用户:wudouyuan
【摘 要】
:
本文所述的高准确度柔性定位传感器是由微型光电开关、高稳定触发器、高稳定测量力的簧片组成,其定位重复性小于0.01μm,叙述了柔性定位传感器的技术方案设计、工作原理、试验方法及应用,该传感器适用于高准确度位移测量设计中选用,可应用在航空、航天、民用等科技研究院、所或企业。
【作 者】
:
姜国雁
杨玉洁
刘涛
胡荣辉
【机 构】
:
沈阳航空发动机集团有限责任公司
【出 处】
:
计量与测试技术
【发表日期】
:
2012年12期
【关键词】
:
高准确度
柔性定位
传感器
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本文所述的高准确度柔性定位传感器是由微型光电开关、高稳定触发器、高稳定测量力的簧片组成,其定位重复性小于0.01μm,叙述了柔性定位传感器的技术方案设计、工作原理、试验方法及应用,该传感器适用于高准确度位移测量设计中选用,可应用在航空、航天、民用等科技研究院、所或企业。
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