Sol—gel法制备Al2O3复合膜的EPMA研究

来源 :武汉理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mryangjinhui
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研究采用Sol—gel法成功地制备了一种新型的A12O3—SiO2-TiO2-ZrO2复合陶瓷膜,其膜面平整,无宏观缺陷。利用电子探针微区分析(EPMA)重点研究了膜的表面和膜与基体界面的化学成分及微观结构。并分析了修饰物添加剂对膜的形貌和性能的影响。结果表明TiO2、SiO2、ZrO2掺杂对A12O3膜起到了良好的修饰作用。
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