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期刊论文
(100)面金刚石的扩散形成
(100)面金刚石的扩散形成
来源 :兵器材料科学与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qnmdmmm
【摘 要】
:
在纯氢气气氛中对用HFCVD法制备的无晶面的微晶金刚石薄膜进行了扩散热处理,结果表明,微晶金刚石在扩散热处理过程中将选择性长大,形成(100)面金刚石,对低压合成金刚石过程中形成(100)面金刚石和
【作 者】
:
邱万奇
周克崧
【机 构】
:
华南理工大学,广州有色金属研究院
【出 处】
:
兵器材料科学与工程
【发表日期】
:
1999年2期
【关键词】
:
热丝
金刚石
微晶
扩散
(100)面
合成
hot-filament
diamond
microcrystalline
diffusion
【基金项目】
:
广东省自然科学基金
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在纯氢气气氛中对用HFCVD法制备的无晶面的微晶金刚石薄膜进行了扩散热处理,结果表明,微晶金刚石在扩散热处理过程中将选择性长大,形成(100)面金刚石,对低压合成金刚石过程中形成(100)面金刚石和扩散热处理中形成的(100)面金刚石的机理作了讨论。
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