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真空炉高温除气工艺可以大大降低不锈钢出气率。通过应用实例,给出了真空炉高温除气和现场烘烤除气及二者结合除气的结果,分析了真空炉高温除气的有利因素,证明采用该工艺对于降低不锈钢出气率,从而获得超高真空具有显著的效果。
真空炉高温除气工艺对降低不锈钢出气率的作用
【摘 要】
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真空炉高温除气工艺可以大大降低不锈钢出气率。通过应用实例,给出了真空炉高温除气和现场烘烤除气及二者结合除气的结果,分析了真空炉高温除气的有利因素,证明采用该工艺对
【机 构】
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中国科学院近代物理研究所,中国科学院近代物理研究所,中国科学院近代物理研究所,中国科学院近代物理研究所,中国科学院近代物理研究所,中国科学院近代物理研究所,中国科学院近代物理研究所,中国科学院近代物理
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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2003年02期
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