【摘 要】
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利用磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了不同厚度的二氧化钒(VO2)薄膜.实验结果表明,所制备的VO2薄膜都具有显著的热色性能.厚度较大的薄膜在低温时具有较高的透过率,而在高温时
【机 构】
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山东理工大学物理与光电工程学院,山东淄博 255049
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利用磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了不同厚度的二氧化钒(VO2)薄膜.实验结果表明,所制备的VO2薄膜都具有显著的热色性能.厚度较大的薄膜在低温时具有较高的透过率,而在高温时具有较低的透过率.然而,厚度较小的薄膜在500～860 nm波长内的情况正好相反,即低温透过率比高温时的小.厚度较小的薄膜在500～860 nm波长内具有沿逆时针方向的热滞回线,这恰好与波长大于860 nm的情况相反.利用光学干涉理论对这一反常的热色现象及热滞回线进行了理论解释,为进一步理解VO2薄膜的热色性能及相变性能提供参考.
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