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运用多弧离子镀在Ｗ６Ｍｏ５Ｃ４Ｖ２高速钢表面沉积了（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ镀层，并经ＳＥＭ，ＸＲＤ和ＥＤＳ等方法分析表明，多靶联合工作获得的（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ镀层，其成分可连续变化，随弧流增大，铝含量增多；随负偏压增大，铝含是降低。弧流与偏压二者对镀层的成分均有影响，其中弧流较为显著。
铝含量对（Ti,Al）N镀层结构及耐磨性的影响
【摘 要】
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运用多弧离子镀在Ｗ６Ｍｏ５Ｃ４Ｖ２高速钢表面沉积了（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ镀层，并经ＳＥＭ，ＸＲＤ和ＥＤＳ等方法分析表明，多靶联合工作获得的（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ镀层，其成分可连续变化，随弧流增大，铝含量增多；随负偏压增大，铝含是降低。弧流与偏压二者对镀层的
【机 构】
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哈尔滨工业大学热加工重点实验室,哈尔滨工业大学材料科学与工程学院
【出 处】
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材料科学与工艺
【发表日期】
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1999年4期
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