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本文设计了一种圆环结构的高Q值MEMS压电谐振器,这种结构的谐振器可在单片RF系统上生产,减少能量损耗,提高Q值,而且不同频率的压电微谐振器的阵列的批量制造在单个芯片上,对其原理进行了分析,仿真,并做出实物进行测试,谐振频率在97.4MHz,Q值达到6499.15。
一种圆环结构MEMS谐振器设计
【摘 要】
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本文设计了一种圆环结构的高Q值MEMS压电谐振器,这种结构的谐振器可在单片RF系统上生产,减少能量损耗,提高Q值,而且不同频率的压电微谐振器的阵列的批量制造在单个芯片上,对
【机 构】
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海康威视
【出 处】
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数码设计
【发表日期】
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2021年7期
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