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提出了采用多孔SiGe／Si异质多层结构来获得布拉格反射镜方法．首先采用传输矩阵方法设计了多孔SiGe／Si异质材料微腔结构，并通过超高真空化学气相沉积与电化学阳极腐蚀相结合的方法实验制备了两种结构的微腔，同时对微腔进行光学性质表征，并详细讨论了实验结果．
多孔SiGe／Si异质材料微腔的结构设计与制备
【摘 要】
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提出了采用多孔SiGe／Si异质多层结构来获得布拉格反射镜方法．首先采用传输矩阵方法设计了多孔SiGe／Si异质材料微腔结构，并通过超高真空化学气相沉积与电化学阳极腐蚀相结合的方法
【机 构】
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闽江学院物理学与电子信息工程系,厦门大学物理系半导体光子学研究中心
【出 处】
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闽江学院学报
【发表日期】
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2012年2期
【基金项目】
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福建省省教育厅基金项目（JBlll28）,闽江学院科技启动项目（KQl004）
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