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热电偶传感器在半导体生产中的应用及误差分析
热电偶传感器在半导体生产中的应用及误差分析
来源 :现代机械 | 被引量 : 1次 | 上传用户:cainubaijiazi
【摘 要】
:
温度在半导体的生产中起着至关重要的作用。温度的检测和控制靠热电偶传感器,温度的准确不仅决定于测温的原理、热电偶传感器的类型、测量的设备,而且还决定于测试的方法。
【作 者】
:
向跃军
刘德军
林小文
【机 构】
:
贵州大学
【出 处】
:
现代机械
【发表日期】
:
2006年03期
【关键词】
:
扩散炉温度
热电偶传感器
测量误差
实际测温方法
temperature of the diffusion furnace thermoeouple trans
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温度在半导体的生产中起着至关重要的作用。温度的检测和控制靠热电偶传感器,温度的准确不仅决定于测温的原理、热电偶传感器的类型、测量的设备,而且还决定于测试的方法。
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