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越来越多的应用需要从处于高温环境中的传感器收集数据。相比同等的分立式传感器,MEMS通常更小巧,功耗和成本都更低。此外,它们还可以在同样大小的半导体封装内集成信号调理电路。除了可以提供高精度倾斜(倾角)测量,还需要更加灵活和自由,以准确测量系统在严苛环境应用下的移动,在这些环境下,最终产品可能遭受冲击、振动和剧烈移动。这种类型的滥用会导致系统过度磨损和提前出现故障,由此产生高额的维护或停机成本。为了满足这一需求,开发了一款集成信号调理功能的高温MEMS陀螺仪,此传感器即使在冲击和振动环境下也能实现准