【摘 要】
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采用YAG固体激光器（1064nm）和XeCl（308nm）准分子激光器，利用射频辅助脉冲激光沉积技术，研究了在不同沉积温度下对制备ZnS薄膜的影响。利用X射线衍射（XRD）和子显微镜（SEM）对制备样品的结
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采用YAG固体激光器（1064nm）和XeCl（308nm）准分子激光器，利用射频辅助脉冲激光沉积技术，研究了在不同沉积温度下对制备ZnS薄膜的影响。利用X射线衍射（XRD）和子显微镜（SEM）对制备样品的结构、形貌特性进行了表征。结果表明：沉积温度和射频辅助密切相关，射频辅助更有利于低温下制膜。
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