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退火处理是一种常用的后续性能改善的方法,本文主要通过在不同温度下对某工艺制备的ITO薄膜样品进行退火处理,研究这一方法对该ITO薄膜光电性能的影响。
退火处理对某种工艺条件制备的ITO薄膜光电性能影响
【摘 要】
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退火处理是一种常用的后续性能改善的方法,本文主要通过在不同温度下对某工艺制备的ITO薄膜样品进行退火处理,研究这一方法对该ITO薄膜光电性能的影响。
【机 构】
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中国建筑材料科学研究总院
【出 处】
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中国建材科技
【发表日期】
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2015年05期
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