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SiC微加工工艺及其在高温电容压力传感器中的应用研究进展
SiC微加工工艺及其在高温电容压力传感器中的应用研究进展
来源 :传感器与微系统 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lhyu11
【摘 要】
:
综述了碳化硅(SiC)材料的薄膜沉积、刻蚀、减薄、键合、欧姆接触等微加工工艺,并以SiC高温电容压力传感器为典型应用,介绍了SiC高温压力传感器的研究现状。
【作 者】
:
余开庆
程萍
丁桂甫
Roya MABOUDIAN
赵小林
【机 构】
:
上海交通大学微米/纳米加工技术重点实验室,上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系,美国加州大学伯克利分校伯克利传感器与执行器中心
【出 处】
:
传感器与微系统
【发表日期】
:
2018年12期
【关键词】
:
碳化硅
微加工工艺
高温
电容压力传感器
silicon carbide (SiC)
micromachining process
high temperatu
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综述了碳化硅(SiC)材料的薄膜沉积、刻蚀、减薄、键合、欧姆接触等微加工工艺,并以SiC高温电容压力传感器为典型应用,介绍了SiC高温压力传感器的研究现状。
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