Micro Transportation Systems: A Review

来源 :现代机械工程(英文) | 被引量 : 0次 | 上传用户：boyhill

【摘要】

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This paper summarized and reviewed recent studies of micro transportation systems (MTS) in the MEMS (Micro Electro-Mechanical System) field. Micro transportatio

【作者】

：

Phuc Hong Pham Dzung Viet Dao

【机构】

：

不详

【出处】

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现代机械工程(英文)

【发表日期】

：

2011年2期

【关键词】

：

MICRO Transportation System (MTS) ELECTROSTATIC Comb-Drive ACTUATOR (ECA) Micro

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This paper summarized and reviewed recent studies of micro transportation systems (MTS) in the MEMS (Micro Electro-Mechanical System) field. Micro transportation systems can be identified and classified into three categories based on the contact types bet

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