双作用气缸在单晶炉中的应用

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介绍了单晶炉的主要机械结构以及气缸的基本知识,根据目前单晶炉设备所需要的自动化程度的不断提高.介绍了双作用气缸在单晶炉中翻板隔离阀处阀盖开、关机构上的应用。
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