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<正> 引言谐振传感器利用了物理因素能够改变谐振频率的现象。谐振传感器与其它传感器相比具有优良的特性。例如高的重复性、分辨率和灵敏度。此外,谐振传感器因为它们输出频率而适于把信号传送到计算机。
在膜片上集成谐振应变仪三维微加工成硅压力传感器
【摘 要】
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<正> 引言谐振传感器利用了物理因素能够改变谐振频率的现象。谐振传感器与其它传感器相比具有优良的特性。例如高的重复性、分辨率和灵敏度。此外,谐振传感器因为它们输出频
【出 处】
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工业仪表与自动化装置
【发表日期】
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1992年3期
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