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机电一体化设备故障的合理诊断，可以及时发现设备中的问题，避免重大事故的发生。而且机电一体化设备对于工业生产具有重要影响，但是机电一体化设备在运行中，由于受到各种因素的影响，会出现各种故障，严重影响工业生产进度与效益，基于此，本文阐述了机电一体化设备诊断流程及其诊断技术，对机电一体化设备故障诊断方法与要点进行了探讨分析。