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微机电系统（MEMS）是一个多学科交叉的前沿科学研究领域。本文介绍了微机电系统的组成、研究背景以及发展状况，最后分析了目前微机电技术存在的问题以及今后的发展方向。
微机电系统及其发展
【摘 要】
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微机电系统（MEMS）是一个多学科交叉的前沿科学研究领域。本文介绍了微机电系统的组成、研究背景以及发展状况，最后分析了目前微机电技术存在的问题以及今后的发展方向。
【机 构】
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南京理工大学泰州科技学院,国电泰州发电有限公司
【出 处】
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中国科技财富
【发表日期】
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2011年20期
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