切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
硅微压传感元件的设计分析及关键技术
硅微压传感元件的设计分析及关键技术
来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:triyve
【摘 要】
:
本文介绍了圆形膜片E型杯硅微压传感元件的设计原理。并针对硅微压传感元件研制中存在的问题,提出采用化学腐蚀技术,选择性腐蚀工艺控制膜厚。用E型杯代替C型杯的设计,改善非线
【作 者】
:
张九惠
【机 构】
:
辽宁大学电子系
【出 处】
:
仪表技术与传感器
【发表日期】
:
1995年1期
【关键词】
:
传感器
各向异性
硅膜片
力敏元件
腐蚀
Sensor
Pressure
Diaphragm
Anisotropic Etching.
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
本文介绍了圆形膜片E型杯硅微压传感元件的设计原理。并针对硅微压传感元件研制中存在的问题,提出采用化学腐蚀技术,选择性腐蚀工艺控制膜厚。用E型杯代替C型杯的设计,改善非线性误差获得成功。研制出量程≤kPa,精度优于0.5%的微压元件。
其他文献
中国第一座智能网络机床制造工厂——访小巨人机床有限公司
5月的宁夏已经是骄阳似火,在西北黄土高原深处,一座现代化的工厂正迎来她4周年的生日。受小巨人机床有限公司的盛情邀请,本刊记者有幸参加了隆重的典礼活动并零距离走访了小巨人
期刊
小巨人机床有限公司
数控车床
生产管理
智能加工车间
装配作业
机插密度对陵两优102群体结构及产量的影响
采用田间对比试验,研究不同机插密度对陵两优102群体结构和产量的影响。结果表明:不同机插密度对双季早稻陵两优102的分蘖消长、生长发育、穗粒结构和产量均有影响。在该试验条
期刊
机插密度
群体结构
产量
陵两优102
machine-transplanted density population structure yield Ling
沿海高地下水位地区日光温室秋延迟番茄栽培技术
以江苏省云台农场日光温室为例,从品种选择、培育适龄壮苗、整地施肥、定植、定植后管理、适时采收等方面介绍了日光温室秋延迟番茄高产栽培技术。特别提出了沿海高地下水位地
期刊
沿海
高地下水位
日光温室
番茄
栽培技术
coastal high groundwater level solar greenhouse tomato cul
数字化评估指标重要度研究
实施军工数字化工程是提升我国国防实力的有效措施,数字化评估是保证数字化工程实施效果的手段.本文针对军工企业数字化评估指标体系,设计并实施对权重的调研.采用频数分析和
期刊
数字化评估体系
数据拟合
权重
Digital evaluation system Data fitting Weight
播种期和留桩高度对再生稻产量及产量构成因素的影响
为探明洞庭湖平原区不同播种期和留桩高度条件下再生稻产量及产量构成因素的变化特征,明确该区域适宜的播种期和留桩高度,以黄华占为材料,开展了不同播种期和留桩高度对再生稻产
期刊
再生稻
洞庭湖平原
播种期
留桩高度
retooning rice Dongting Lake plain sowing date stubble height
谈当前市场开发工作策略
结合国家宏观调控政策,分析了目前建筑市场开发工作中主要存在的问题,探讨了相应的开发策略,提出了施工企业市场开发过程中应采取的手段及承揽业务时应注意的问题,以期指导实
期刊
施工企业
市场开发
问题
开发策略
手段
construction enterprises
market development
problems
dev
花草植物的分形图像
利用分形几何可产生许多自然景像的图像。本文给出一种递归算法,用来生成花草植物的图像,并给出了几个生成有立体感的逼真花草植物的例子。
期刊
计算机图形学
分形几何
递归算法
花草植物
computer graphics
fractalgeometry
recursiye al-gorithm
f
中铁六局洪泰庄职工住宅大楼施工工艺探讨
结合中铁六局洪泰庄职工住宅大楼项目的施工实践,对施工工序安排、主要分项工程施工方法,包括测量放线、基坑的支护结构、土方工程、地下防水施工、回填土,以及在施工中采用
期刊
施工工艺
新技术
住宅大楼
建筑施工
construction craft
new technique
residential building
arch
桂果蔗1号在玉林市的引种表现
以玉林果蔗主栽品种拔地拉(俗称黑皮果蔗)为对照,对引进的桂果蔗1号进行品种比较试验。结果表明:桂果蔗1号生长速度较快,后期生长无缩尾现象,蔗株高大直立,上中下茎径粗细均匀,
期刊
桂果蔗1号
新品种
品比试验
玉林
GGZ1 new variety contrast test Yulin
不同肥力红壤旱地对季节性干旱条件的响应特征
为了探讨不同肥力等级红壤旱地对季节性干旱的响应特征,选取高中低肥力的红壤旱地,系统研究土壤容重、有机质含量及连续干旱条件下土壤含水量变化。结果显示:在红壤旱地上,0~
期刊
红壤旱地
连续干旱
土壤有机质
土壤含水量
red soil uplandcontinuous droughtsoil organic mattersoil w
与本文相关的学术论文