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用传统等倾干涉仪测量平晶平面度，需靠肉眼从目镜观察，通过旋转测微鼓轮在分划板反复压线估读干涉环直径，这样做不仅准确度低，而且工作强度大、效率低。用机器视觉与计算机技术能解决以上问题：计算机对电荷耦合器（CCD）采集的干涉图进行处理，再同时测量多条干涉同心环直径并计算标准干涉环直径风；遍历所有检定点后。计算机通过数据处理自动得到各检定点的平面度数值。