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苏州纳米所在增强型GaN HEMT器件研究方面取得进展
苏州纳米所在增强型GaN HEMT器件研究方面取得进展
来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:2034912
【摘 要】
:
由于GaN具有大禁带宽度、高电子迁移率、高击穿场强等优点,GaN HEMT成为新一代功率器件研究的热点。由于极化作用,AlGaN/GaN异质结界面会形成高浓度的二维电子气,浓度可达到1
【出 处】
:
人工晶体学报
【发表日期】
:
2017年2期
【关键词】
:
AlGaN/GaN
HEMT器件
增强型
纳米
苏州
高电子迁移率
二维电子气
异质结界面
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由于GaN具有大禁带宽度、高电子迁移率、高击穿场强等优点,GaN HEMT成为新一代功率器件研究的热点。由于极化作用,AlGaN/GaN异质结界面会形成高浓度的二维电子气,浓度可达到1013/cm2量级,因此一般的GaN HEMT都是耗尽型器件。
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