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期刊论文
金刚石半导体的研制动向
金刚石半导体的研制动向
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gaccia_zhou
【摘 要】
:
<正> 金刚石是最硬的物质,被应用在磨削工具、切削工具或耐磨损工具上。但是,金刚石除了硬之外,还有其它一些有用的特性,对这些特性的应用在最近几年已受到人们的关注。金刚
【作 者】
:
藤森直治
王景义
【机 构】
:
住友电气工业研究开发本部伊丹研究所主任研究员
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
1990年2期
【关键词】
:
金刚石
半导体
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<正> 金刚石是最硬的物质,被应用在磨削工具、切削工具或耐磨损工具上。但是,金刚石除了硬之外,还有其它一些有用的特性,对这些特性的应用在最近几年已受到人们的关注。金刚石至少具有硬度和热传导率两项最高特性,象这样具有两项以上最高特性的物质,金刚石几乎是唯一的一种。
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