【摘 要】
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采用电解液微弧碳氮化技术（PECN）,在钛合金表面沉积出较厚的Ti（CxN1-x）膜层,用红外光谱研究了改性过程中的气封组成,分析了膜层的形成机理。结果表明：PECN处理过程中的气相产物主
【机 构】
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新疆大学机械工程学院机械工程博士后科研流动站,西安交通大学金属材料强度国家重点实验室
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采用电解液微弧碳氮化技术（PECN）,在钛合金表面沉积出较厚的Ti（CxN1-x）膜层,用红外光谱研究了改性过程中的气封组成,分析了膜层的形成机理。结果表明：PECN处理过程中的气相产物主要是：CH4、NH3、C2H2、CO、CO2和H2O。各气体产物来自于PECN处理过程中有机物的分解,并且气体之间存在相互作用。随放电时间延长,各气体浓度呈现不同的变化趋势,导致气封中碳、氮势随之改变,继而引起Ti（CxN1-x）膜层中C/N原子比亦相应变化。PECN过程大致可分为：阴极电解析氢、有机物的热分解以形成气封
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