【摘 要】
：
采用等离子ICP刻蚀机,对<110>向单晶硅进行真空刻蚀。结果表明:随着时间的增大,刻蚀深度(纵向距离)在增大,刻蚀速率为200 nm/min;侧蚀距离(横向距离)随着时间的推移而增大,在
【机 构】
：
厦门大学嘉庚学院,北京未来芯片高精尖创新中心
【基金项目】
：
福建省教育厅中青年项目(AT160650);福建省漳州市自然科学基金(ZZ2018J27)
论文部分内容阅读
采用等离子ICP刻蚀机,对<110>向单晶硅进行真空刻蚀。结果表明:随着时间的增大,刻蚀深度(纵向距离)在增大,刻蚀速率为200 nm/min;侧蚀距离(横向距离)随着时间的推移而增大,在60 min时候,单壁侧蚀距离为1. 5μm,侧蚀速率在50 nm/min; Si的刻蚀速率随着SF6的气体流量的增加而增大,当流量达到80 sccm,刻蚀速率为268 nm/min;光刻胶刻蚀速率却随着气体流量的增加而降低,在70 sccm时候,光刻胶刻蚀速率为32 nm/min;光刻胶的刻蚀速率与Si的刻蚀速率在一定场合下呈现反比例关系。
其他文献
目的:探究隔鲜土豆片灸治疗局部软组织损伤的可行性。方法:检索中国期刊全文数据库(CNKI)、万方知识服务平台、中国科技期刊全文数据库(VIP)和中国生物医学文献数据库(CBM),
近期，《黄冈师范学院学报》开设了“名师谈教学”栏目，邀请黄冈地区一批中小学教学名师谈经论道。无论是对于黄冈的中小学教学改革创新，还是对黄冈师范学院所进行的教师教育，抑或
科学与技术在现代性的文化话语中占据极其重要的地位。从西方现代科学的诞生、方法论基础、社会运用以及科学技术理性批判和科学技术文化困境的出路等方面，我们可以探究出科学
<正>根据历史学家的判断,人类全球化的进程始于公元16世纪,西班牙殖民者在菲律宾建立马尼拉,开始从事全球性经济贸易。(凌志军:《变化:1990年——2002年中国实录》中国社会科
针对CRH5型动车组检修过程中,由于电气柜内电气元件端子压接不良等原因造成的短路或过流现象而导致的安全隐患等问题,采用更改端子结构以及利用红外热成像仪监测等方法,优化
在信息化、网络化的背景下,卫星数据链具有不可替代的重要作用,然而,卫星数据链的开放信道特性,使得卫星通信的畅通性、有效性、安全性受到威胁。本文设计一种采用宽带跳频扩
土壤热导率是研究陆地表层水热盐耦合运动的基本物理参数。由于水汽潜热传热在高温下的显著作用,高温下的土壤热导率显著高于常温值。该研究的目的是建立能够有效预测高温下
家庭教育自古便受到重视。我国著名教育家陈鹤琴在儿童心理学及家庭教育方面深有研究,本文通过陈鹤琴的家庭教育思想提出启示,力求今人能重视家庭教育,承袭其思想的精华,以促
高中数学是高中课程中一门重要的基础学科,具有很强的科学性和实用性。在学习中笔者了解到,构建数学模型是解决一些实际问题的重要手段和途径,并且能够更准确合理地解释一些
该文以AVRmega16单片机作为控制核心,通过控制12位D/A对AD603实现增益可控放大,设计了一个在0~5MHz频带内,增益0~40dB连续自动可调、增益波动小于1dB、在50Ω负载输出最大电