【摘 要】
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本文研究了背面引线离子敏感场效应器件Ｂａｃｋｓｉｄｅｃｏｎｔａｃｔｉｏｎｓｅｎｓｉｔｉｖｅｆｉｅｌｄｅｆｆｅｃｔｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ（ＢＳＣ－ＩＳＦＥＴ）的特殊工艺技术。重点阐述了双面光刻，各向异性腐蚀，深坑加工，腐蚀自停止等技术，实现了源漏电极从芯片背面引出，给出了扫描电镜分析照片。提
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本文研究了背面引线离子敏感场效应器件Ｂａｃｋｓｉｄｅｃｏｎｔａｃｔｉｏｎｓｅｎｓｉｔｉｖｅｆｉｅｌｄｅｆｆｅｃｔｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ（ＢＳＣ－ＩＳＦＥＴ）的特殊工艺技术。重点阐述了双面光刻，各向异性腐蚀，深坑加工，腐蚀自停止等技术，实现了源漏电极从芯片背面引出，给出了扫描电镜分析照片。提出了一个合理，实用的腐蚀配方及条件：在７７℃恒温腐蚀溶液中（ＫＯＨ：ＩＰＡ：Ｈ２Ｏ＝２５．６：１６．５ｍｌ：６０ｍｌ），腐蚀约５小时３０分钟，腐蚀速率为５５μｍ／ｈ－６０μｍ／ｈ。得到了光滑、平整的坑底和坑壁，棱角分明斜度正常（５４．７°），重复性好，实验结果表明其接触电阻小于４Ω，达到ＢＳＣ－ＩＳＦＥＴ设计要求。
In this paper, we studied the special process technology of Backsidecontainer sensitivefieldeffecttransistor (BSC-ISFET). The technologies of double-sided lithography, anisotropic etching, deep pit processing and self-stopping corrosion are mainly described. The source and drain electrodes are led out from the backside of the chip, and the photos taken by SEM are given. A reasonable and practical corrosion formulation and conditions were proposed: the corrosion rate was 55μm / h at a constant temperature of 77 ℃ (KOH: IPA: H2O = 25.6: 16.5ml: 60ml) for about 5 hours and 30 minutes -60 μm / h. The smooth and flat pit bottom and pit wall were obtained. The angular slope was clear (54.7 °), and the repeatability was good. The experimental results showed that the contact resistance was less than 4Ω and reached the design requirements of BSC-ISFET.
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