【摘 要】
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码盘、光栅盘是光电位移精密测量仪器和光栅计量测试设备中的核心元件。目前,码盘、光栅的基片主要是K9玻璃、浮法玻璃、不锈钢及菲林胶片,但它们无法适应振动强、冲击大等恶
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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码盘、光栅盘是光电位移精密测量仪器和光栅计量测试设备中的核心元件。目前,码盘、光栅的基片主要是K9玻璃、浮法玻璃、不锈钢及菲林胶片,但它们无法适应振动强、冲击大等恶劣环境的要求。为了解决上述矛盾,采用新型的材料--光学树脂作为基片进行码盘、光栅盘的制作,通过分析部分光学树脂特别是聚甲基丙烯酸甲酯（简称PMMA）、聚碳酸酯（简称PC）、聚苯乙烯（简称PS）的光学特性,在研究现有光刻复制工艺的基础上,采用新型的制作技术制作出PC树脂基片的光栅盘,在45倍显微镜下观察,线条陡直、无龟裂,试验结果表明该工艺可行,
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