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大规模集成电路对超净高纯试剂的纯度和洁净度上具有特殊的要求 ,微滤膜分离由于对细菌和微细粒子具有良好的截留效应 ,与蒸馏、吸附等其它分离手段相结合 ,可使得纯水、双氧水和HF等电子清洗剂 ,金属离子等杂质含量降至几十个 1× 1 0 -9以下 ,甚至达到 1× 1 0 -12 水平。
微滤膜在超净高纯电子化学试剂生产中的应用进展
【摘 要】
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大规模集成电路对超净高纯试剂的纯度和洁净度上具有特殊的要求 ,微滤膜分离由于对细菌和微细粒子具有良好的截留效应 ,与蒸馏、吸附等其它分离手段相结合 ,可使得纯水、双氧
【机 构】
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华东理工大学化学工程研究所,华东理工大学化学工程研究所上海
【出 处】
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化学世界
【发表日期】
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2002年S1期
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