【摘 要】
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<正> PHI-5300X射线光电子能谱仪(简称XPS),是美国珀金-埃尔默公司(P-E)的产品,清华大学分析中心于1984年12月引进,并于1985年12月正式投入运行。XPS主要用于各种固体材料与
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<正> PHI-5300X射线光电子能谱仪(简称XPS),是美国珀金-埃尔默公司(P-E)的产品,清华大学分析中心于1984年12月引进,并于1985年12月正式投入运行。XPS主要用于各种固体材料与薄膜的表面元素成分及化学状态分析,如催化剂、半导体、超导材料、纳米材料等,因而在科研及教学中越来越受到人们的重视。尤其在化学、物理与材料科学的相互渗透,交叉学科的深入发展,从原子、分子尺度上研究物质的结构与其性能的关系,都离不开XPS提供的信息。 该仪器已经使用达十四年之久,部件老化现象日
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