【摘 要】
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Porous materials used for humidity sensing have been commercialized.In this paper,the preparation and humidity sensing characteristics of porous silicon with P-
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Porous materials used for humidity sensing have been commercialized.In this paper,the preparation and humidity sensing characteristics of porous silicon with P-N junctions (PNJPS)are studied.PNJPS is made by electro-chemical anodic etched method from silicon wafers with P-N junctions.Its porous structure is verified by scanning electronic micrograph. Experiments also show that PNJPS has high sensitivity,short response time (less than 30 seconds),and long-term stability.
Porous materials used for humidity sensing have been commercialized. In this paper, the preparation and humidity sensing characteristics of porous silicon with PN junctions (PNJPS) are studied. PNJPS is made by electro-chemical anodic etched method from silicon wafers with PN junctions .Its porous structure is verified by scanning electronic micrograph. Experiments also show that PNJPS has high sensitivity, short response time (less than 30 seconds), and long-term stability.
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