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在 MEMS 结构中采用变截面梁来减小应力集中的影响。建立的变截面梁弯曲数学模型可为MEMS 器件加工工艺提供理论依据。以增加空间利用率且保持最大转角和最大挠度不变为前提条件,分别构建了最大转角尺寸刚度 K φ和最大挠度尺寸刚度 K W 表达式;对比原设计参数的尺寸刚度,创建了梁长度和端面高度与尺寸刚度的关系式,从而为 MEMS 结构中梁的设计提供了理论支撑。