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介绍了用于侧照明实验研究瑞利-泰勒流体力学不稳定性（Rayleigh-Taylor instability）实验的聚苯乙烯和铝平面调制微靶的制备工艺。通过图形转移，靶型切割和装配工艺的控制，结合靶参数测量，获得了厚度在几十μm、表面具有波长50μm和55μm、振幅从几到几十μm、微靶宽度约为200μm、剖面正弦调制图形清晰的两种靶型。